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當前位置:首頁產(chǎn)品中心電力設備電阻測試儀SN/RTS-4北京單晶硅物理測試儀

北京單晶硅物理測試儀

產(chǎn)品簡介

北京單晶硅物理測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析。

產(chǎn)品型號:SN/RTS-4
更新時間:2024-10-17
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:777
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品牌FR/富瑞產(chǎn)地類別國產(chǎn)
類型數(shù)字式電阻測試儀測量范圍0.0001~2000ω.cmMΩ
應用領域化工,石油,電子

數(shù)字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀 

型號:SN/RTS-4

產(chǎn)品簡介:

北京單晶硅物理測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。

北京單晶硅物理測試儀儀器采用了電子技術(shù)進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技術(shù)參數(shù):

測量范圍:電阻率:0.0001~2000ω.cm(可擴展);
 方塊電阻:0.001~20000ω/□(可擴展); 
 電導率:0.0005~10000 s/cm; 
 電阻:0.0001~2000ω.cm; 

可測晶片直徑:140mmx150mm(配s-2a型測試臺);
 200mmx200mm(配s-2b型測試臺);
 400mmx500mm(配s-2c型測試臺);

恒流源:電流量程分為0.1ma、1ma、10ma、100ma四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表:量程及表示形式:000.00~199.99mv;

 分辨力:10μv;
 輸入阻抗:>1000mω;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標:間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000mω; 
 機械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

 應用參數(shù):(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差(按jjg508-87進行):0.1ω、1ω、10ω、100ω小于等于0.3%±1字

整機測量 大相對誤差:(用硅標樣片:0.01-180ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度:≤5%

測試模式:可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能(選配):軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù) 大值、 小值、平均值、 大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到excel中,對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口:并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒

標準使用環(huán)境:溫度:23±2℃;相對濕度:≤65%;無高頻干擾;無強光直射。

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